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无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计
为了解决“三明治”这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁......
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微电子机械系统
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